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激光位移传感器的工作原理是什么

最好详细一点
提问者:网友 2017-08-16
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激光位移传感器原理图: 基本原理是光学三角法: 半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集,投射到CMOS阵列④上;信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。 这是真尚有科技网站上的原理图 ZLDS10X激光位移传感器的精度最高可达0.5um参考文献:http://zhidao.baidu.com/question/321808519.html?quesup1
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