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请介绍一下扩散硅原理(在压力传感器中)
1.什么是扩散硅的原理。2.讲一下他在压力传感器中的应用。谢谢
问
提问者:网友
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2017-06-26
最佳回答
能够用到硅材料的压力传感器应该是压阻式传感器,属于微型化的传感器。压阻效应任何一本传感器书中都会有介绍,我就不多说了。既然是压阻效应,就要在硅片上扩散电阻,也就是说在硅片上掺杂上别的材料,做出电阻来。一般来说P型电阻灵敏度高,必须将其扩散到N型衬底上。再详细点,就找本集成电路加工工艺的书。说到应用,在汽车、医疗、军事上都有用的,象恩德福克公司、恩特兰公司、IC Sensors公司等,都在做这类的传感器。
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